1.การสะสม
ขั้นตอนแรกในการผลิตชิปมักจะฝากฟิล์มบาง ๆ ของวัสดุบนเวเฟอร์ วัสดุสามารถเป็นตัวนําฉนวนหรือเซมิคอนดักเตอร์
2,เคลือบ photoresist
ก่อนการถ่ายภาพวัสดุไวแสง "photoresist" หรือ "photoresist" จะถูกเคลือบบนเวเฟอร์ก่อนจากนั้นเวเฟอร์จะถูกวางไว้ในเครื่องพิมพ์
3.การเปิดรับแสง
ทําพิมพ์เขียวรูปแบบที่จําเป็นต้องพิมพ์บน reticle หลังจากวางเวเฟอร์ไว้ในเครื่องลิโตกราฟีลําแสงจะถูกฉายลงบนเวเฟอร์ผ่าน reticle องค์ประกอบทางแสงในเครื่องพิมพ์ลิโตกราฟีหดตัวและเน้นรูปแบบลงบนการเคลือบโฟโตเรสต์ ภายใต้การฉายรังสีของลําแสง photoresist ได้รับปฏิกิริยาทางเคมีและรูปแบบบน photomask จึงประทับบนเคลือบ photoresist
4.ลิธิโอกราฟีการคํานวณ
ผลกระทบทางกายภาพและทางเคมีที่เกิดขึ้นในระหว่างการถ่ายแสงอาจทําให้เกิดการเปลี่ยนรูปของรูปแบบดังนั้นจึงจําเป็นต้องปรับรูปแบบบน reticle ล่วงหน้าเพื่อให้แน่ใจว่าความถูกต้องของรูปแบบการถ่ายภาพขั้นสุดท้าย ASML รวมข้อมูลลิโตกราฟีที่มีอยู่และข้อมูลการทดสอบเวเฟอร์เพื่อสร้างแบบจําลองอัลกอริทึมและปรับรูปแบบได้อย่างแม่นยํา
5.อบและพัฒนา
หลังจากเวเฟอร์ออกจากเครื่องลิโตกราฟีแล้วจะต้องอบและพัฒนาเพื่อให้รูปแบบลิโตกราฟีได้รับการแก้ไขอย่างถาวร ล้าง photoresist ส่วนเกินออกจากส่วนที่ว่างเปล่าของการเคลือบ
6,แกะสลัก
หลังจากการพัฒนาเสร็จสมบูรณ์ให้ใช้ก๊าซและวัสดุอื่น ๆ เพื่อเอาชิ้นส่วนที่ว่างเปล่าส่วนเกินออกเพื่อสร้างรูปแบบวงจร 3 มิติ
7,วัดและการตรวจสอบ
ในระหว่างกระบวนการผลิตชิปเวเฟอร์จะถูกวัดและตรวจสอบเสมอเพื่อให้แน่ใจว่าไม่มีข้อผิดพลาด ผลการตรวจสอบจะถูกป้อนกลับไปยังระบบลิโตกราฟีเพื่อเพิ่มประสิทธิภาพและปรับอุปกรณ์
8.การฝังไอออน
ก่อนที่จะลบ photoresist ที่เหลือเวเฟอร์สามารถ bombarded กับไอออนบวกหรือลบเพื่อปรับลักษณะเซมิคอนดักเตอร์ของส่วนหนึ่งของรูปแบบ
9. ทําซ้ําขั้นตอนกระบวนการตามต้องการ
ตั้งแต่การสะสมของฟิล์มการกําจัด photoresist กระบวนการทั้งหมดครอบคลุมเวเฟอร์ด้วยรูปแบบ เพื่อสร้างวงจรรวมบนเวเฟอร์เพื่อทําการผลิตชิปให้เสร็จสมบูรณ์กระบวนการนี้จะต้องทําซ้ําอย่างต่อเนื่องถึง 100 ครั้ง
10,ชิปบรรจุ
ขั้นตอนสุดท้ายคือการตัดเวเฟอร์เพื่อให้ได้ชิปตัวเดียวซึ่งบรรจุในกล่องป้องกัน ด้วยวิธีนี้ชิปสําเร็จรูปสามารถใช้ในการผลิตทีวีแท็บเล็ตหรืออุปกรณ์ดิจิตอลอื่น ๆ !
ถ้าคุณกําลัง interedted ในผลิตภัณฑ์ของเรา, กรุณาเยี่ยมชมwww.hkram.comเพื่อให้มีข้อมูลเพิ่มเติม